2023慕尼黑上海光博會(LASER World of PHOTONICS CHINA)于7月11-13日在上海國家會展中心隆重舉行。展會吸引了全球光學與光學制造、檢測與質(zhì)量控制、激光智能制造等領域1100余家企業(yè)參展,八萬余名海內(nèi)外觀眾參觀洽談。兆維集團攜自主研發(fā)的OLED顯示面板貼合區(qū)AOI檢測模塊、 LCD切割后邊緣檢查模塊亮相本次展會。
此次展出的OLED顯示面板貼合區(qū)AOI檢測模塊是OLED顯示面板亞微米裂紋檢測設備的核心光學模塊,采用明暗場多光譜成像技術、工業(yè)AI算法技術,可檢出柔性OLED顯示器件孔邊緣區(qū)域、2D/2.5D/3D邊緣區(qū)域微米級裂紋、彩虹紋等缺陷,檢測分辨率最高可達到0.5微米。LCD 切割后邊緣檢查模塊是顯示面板玻璃板邊緣檢測設備核心光學模塊,采用光路轉(zhuǎn)折棱鏡技術、一體伸縮式載臺、傳統(tǒng)機器學習與深度學習算法結(jié)合技術,可對顯示面板邊緣的研磨精度和切割精度進行量測,進行崩邊、毛刺、裂紋等缺陷的自動光學檢測。
當前,兆維集團依托機器視覺檢測/量測核心技術,積極向半導體檢測設備領域進行技術延伸和拓展,面向前道晶圓和先進封裝市場,成功研制半導體晶圓級宏觀缺陷測AOI設備,采用明/暗場高倍顯微成像、模版比對結(jié)合深度學習的缺陷檢測算法、高速飛拍與精密運動控制等技術,可以檢出半導體前道晶圓制造ADI、AEI、API、OQA以及先進封裝中道等各工藝過程產(chǎn)生的沾污、橋連、顏色異常等缺陷。檢測分辨率實現(xiàn)從普通成像(幾微米到幾十微米)到高分辨率顯微成像(小于0.25微米)能力創(chuàng)新突破。
展會上,多家產(chǎn)業(yè)鏈上下游展商、觀眾到兆維集團展臺參觀交流,通過樣品實測、模型展示、案例交流等方式探討檢測領域前沿技術,尋求顯示面板、半導體、新能源等領域應用場景的技術拓展。
著眼未來,兆維集團將繼續(xù)堅持科技創(chuàng)新,依托自主“軟件+硬件”技術開發(fā)平臺,推動“檢測+量測”的復合應用,強化產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同聯(lián)動,為半導體顯示、集成電路等領域行業(yè)客戶提供更為高效精準的國產(chǎn)化檢測裝備。